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Al2O3-Vakuumspannfutter, Aluminiumoxid-Keramik-VakuumspannfutterDas Aluminiumoxid-Keramik-Vakuumspannfutter ist ein Gerät, das Luftdruckunterschiede zum Aufsaugen von Gegenständen nutzt und sich zum Aufsaugen dünner und leichter Gegenstände wie Wafer, Chips, Solarzellen usw. eignet.
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Mikroporöses Keramik-VakuumfutterDie elektrostatische Vakuumspannvorrichtung nutzt die Coulombsche Kraft, die zwischen dem Werkstück (dem zu bearbeitenden Objekt) und der Elektrode mit angelegter Spannung erzeugt wird, um das Werkstück sicher zu absorbieren.