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Al2O3-Vakuumspannfutter
Mikroporöses Keramik-Vakuumfutter Mikroporöses Keramik-Vakuumfutter Mikroporöses Keramik-Vakuumfutter

Mikroporöses Keramik-Vakuumfutter

Die elektrostatische Vakuumspannvorrichtung nutzt die Coulombsche Kraft, die zwischen dem Werkstück (dem zu bearbeitenden Objekt) und der Elektrode mit angelegter Spannung erzeugt wird, um das Werkstück sicher zu absorbieren.
  • Art.-Nr. :

    CS-YHL-XP001
  • Material : Alumina ceramic

  • Beschreibung
Eigenschaften des Aluminiumoxid-Vakuumspannfutters


1. Kompatibel für den Einsatz sowohl in Atmosphären- als auch Vakuumumgebungen.

2. Kann Leiter, Halbleiter, Isolatoren und poröse Materialien adsorbieren.

3. Vereinfachter Klemm- und Handhabungsmechanismus mit geringem Energieverbrauch durch elektrostatische Adsorption.

4. Gleichmäßige Verteilung der Adsorptionskraft, wodurch lokale Spannungen während der Adsorption beseitigt werden.

5. Sanfte Unterstützung für großflächige dünne Werkstücke, verhindert Kratzer und Falten beim Ansaugen.

6. Schnelle Aktivierung und Deaktivierung, ohne Restpotential auf der Rückseite des Objekts, wodurch die Anziehung von umgebendem Staub verhindert wird.




Anwendungen der mikroporösen Aluminiumoxid-Vakuumspannplatte


Ideal für die Vakuumlaminierung bei der Panelherstellung, der Verpackung von Halbleiterchips, integrierten Schaltkreisen der Mikroelektronik, der Herstellung optischer Präzisionskomponenten und der Solar-Photovoltaik-Produktion.



Größentabelle des mikroporösen Vakuumspannfutters aus Aluminiumoxid


Mikroporöses Vakuumfutter aus Aluminiumoxid, quadratisch
Artikel-Nr. Länge (mm) Breite (mm) Dicke (mm) Material
CS-YHL-XP001 305 305 14 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik (braun)
CS-YHL-XP002 305 305 14 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik (braun)
CS-YHL-XP003 420 275 20 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP004 450 200 20 SKD61 + poröse Keramik
CS-YHL-XP005 520 520 20 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik

Mikroporöses Vakuumfutter aus Aluminiumoxid, rund
Artikel-Nr. Durchmesser (mm) Dicke (mm) Material
CS-YHL-XP006 174 10 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP007 220 35 Nur Aluminiumoxidkeramik
CS-YHL-XP008 230 16 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP009 239 12 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP010 240 12 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP011 286 20 Nur Aluminiumoxidkeramik
CS-YHL-XP012 320 16 Edelstahl 316 + mikroporöse Keramik
CS-YHL-XP013 325 12 Aluminiumlegierung + mikroporöse Keramik



Wir sind bestrebt, optimale Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter zu liefern, die genau auf Ihre Spezifikationen zugeschnitten sind. Unser engagiertes Team sorgt für die sorgfältige Einhaltung Ihrer Anweisungen und ist bestrebt, die Erwartungen der Kunden zu übertreffen. Darüber hinaus bieten wir die Flexibilität kundenspezifischer Größen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Spezifikationstoleranzen:

1. Größenbereich: 05 mm–0800 mm
2. Mikroporengröße: 20–60 µm
3. Porosität: 30-50 %
4. Planare Genauigkeit des Vakuumspannfutters: 6-8 Zoll <3um; 12 Zoll <5um

Anpassungsanforderungen:

1. Geben Sie Abmessungen, Dicke und Form für 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 Zoll und nicht standardmäßige Anpassungen an.
2. Wählen Sie aus Aluminiumlegierung, Edelstahl, Keramik, Kunststoff und anderen Materialien für die Basis und den Rahmen.

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